超純水設備部分施工難度（difficulty)，其主要包括三個部分：設備的搬入及安裝、共用管架(簡稱共架，下同)的制作安裝以及管道的安裝。超純水設備的搬入一定要注意編制詳細的設備吊裝方案，特別是對于超重、超大、易損設備，千萬不可以野蠻冒險施工，共架的施工要注意三個環節。
1.共架與土建結構連接處一定要堅固，采用預埋鐵板。若因種種原因不能預埋，則應用化學鉚栓固定在梁上，不應使用一般的簡易膨脹(inflate)螺栓(組成:頭部和螺桿組成)。切不可用鐵板和簡易膨脹螺栓(組成:頭部和螺桿組成)固定在樓板上。
2.整段管架一定要保持水平，以免管道與共架接觸部位由于應力不均勻（jūn yún)引起管道彎曲（Bend)破損。水站的管道施工除CDA、氮氣(Nitrogen)及熱交換器用的蒸汽或冷熱水管道可以按系統進行施工外，其他站內管道施工可分為兩大部分，即共架管道施工和超純水設備周邊配管施工。開工初期兩部分可以同時進行施工。當共架直管段與超純水設備本體配管完成之后，應該從設備周邊管道向共架管道進行連接配置(deploy)，終與共架管道相連形成封閉的管路系統。超純水系統管道施工與其他一般動力管道施工有很大區別，它除了要保證管道系統的密閉性外，還有更加重要的一點，就是要在施工過程中一定要保證管道的潔凈。
3.但需注意超純水設備在現場施工時，施工區域要相對干凈(不得有很大的灰塵)。粘接施工時禁止在地面上進行，應在加工平臺上進行粘接操作。施工時一定要戴上專用潔凈一次性手套，施工過程中禁止徒手接觸管道的內壁(因為手上的油脂粘在管內壁很難沖洗干凈)。管道在插入時使用緊線器，并劃線以確認插入的深度是否足夠。又叫法蘭凸緣盤或突緣間密封材料應用PTFE(聚四氟(fluorine)乙烯)。堆放場所需要墊上彩條布或塑料（結構:合成樹脂、增塑劑、穩定劑、色料)薄膜(薄而軟的透明薄片)對管道進行保護。
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